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公司基本資料信息
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探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本
該探針臺(tái)的承片臺(tái)X/Y/Z三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下調(diào)節(jié)，其中X方向調(diào)節(jié)范圍：0－30mm；y方向調(diào)節(jié)范圍：0－13mm；z方向調(diào)節(jié)范圍：0－13mm；用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時(shí)將需檢測(cè)的器件固定在加熱臺(tái)上，再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)點(diǎn)后，即可進(jìn)行檢測(cè)。
實(shí)驗(yàn)腔體 |
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腔體材質(zhì) |
304不銹鋼 |
上蓋開啟 |
鉸鏈側(cè)開 |
內(nèi)腔體尺寸 |
φ140x180 |
加熱臺(tái)材質(zhì) |
304不銹鋼 |
觀察窗尺寸 |
φ75 |
加熱臺(tái)尺寸 |
50x50 |
加熱臺(tái)溫度 |
室溫-350℃可調(diào) |
加熱臺(tái)溫控誤差 |
±1℃ |
真空度 |
機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
真空抽氣口 |
KF25 |
氣體進(jìn)氣口 |
3mm-6mm卡套接頭 |
進(jìn)氣閥門 |
高精密針閥 |
抽氣閥門 |
KF25真空擋板閥 |
壓力表 |
機(jī)械壓力表 -0.1-0.15mpa |
信號(hào)電極 |
4個(gè) |
探針數(shù)量 |
4個(gè) |
探針材質(zhì) |
φ1.5鎢針 其他材質(zhì)可選 |
探針移動(dòng)平臺(tái) |
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X軸移動(dòng)行程 |
30mm ±15mm |
X軸控制精度 |
≤0.1MM |
Y軸移動(dòng)行程 |
13MM ±6.5mm |
Y軸控制精度 |
≤0.05MM |
Z軸移動(dòng)行程 |
13mm ±6.5mm |
Z軸控制精度 |
≤0.05MM |
信號(hào)電極 |
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電極芯 |
1芯 |
電極引出接頭 |
BNC母頭 |
電極引出線 |
銅網(wǎng)信號(hào)屏蔽線 |
BNC引出接頭 |
X4 |
額定電流 |
≤5A |
額定電壓 |
≤220V |
電極芯直徑 |
φ1mm |
接觸電阻 |
≤5MΩ |
絕緣電阻 |
≥1000 MΩ |
外殼接地 |
是 |
電子顯微鏡 |
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電子顯微鏡根據(jù)客戶需要配置不同倍率 請(qǐng)和客服溝通 |
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做氣體傳感器的客戶可以選擇本公司的多通道智能氣體配比系統(tǒng)
聯(lián)系電話：0371-60308298
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聯(lián)系人：李工
