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公司基本資料信息
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S系列為真正意義上的模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計探針臺，讓用戶可完全圍繞實際應(yīng)用，選擇最適合的功能配置，確保最佳成本解決方案的同時滿足用戶將來的升級需求。
S系列可定制的模塊為：載物臺及其移動基座模塊、探針座放置平臺移動模塊和顯微鏡及其移動基座模塊。用戶可自行配置功能模塊的同時，還可根據(jù)自身需求增加探針卡夾具、激光器、微腔體屏蔽系統(tǒng)、半自動控制系統(tǒng)、全自動控制系統(tǒng)、高溫測試系等，滿足更多的應(yīng)用需求。
S系列還為用戶提供了一個高剛性和穩(wěn)定性的測試系統(tǒng)。載物臺移動基座和探針臺底座一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計，顯著地提高了載物臺的結(jié)構(gòu)剛性和穩(wěn)定性。顯微鏡支撐為龍門結(jié)構(gòu)，可應(yīng)用于高放大倍率的光學(xué)系統(tǒng)，保證光學(xué)系統(tǒng)的穩(wěn)定性。探針座放置平臺采用高剛性結(jié)構(gòu)設(shè)計，保證平臺板整體的垂直應(yīng)力形變在5μm/10N以內(nèi)，擁有極高的穩(wěn)定性以滿足高精度探針座的定位要求。
載物臺(常規(guī)晶圓載物臺） | |
尺寸 | 6"(152.4mm)，可選更大尺寸，如8"或12" |
材質(zhì) | 不銹鋼 |
平整度 | ≤±2.5μm |
真空區(qū)域* | 0，2"，4"，6"環(huán)形吸附** |
真空控制 | 手動控制，獨立真空區(qū)域 |
真空驅(qū)動方式 | 真空泵 |
載物臺電性能 | 載物臺信號導(dǎo)通，可選擇接地或接信號 |
*根據(jù)載物臺尺寸有所不同，如載物臺尺寸為12"，則真空吸附區(qū)域為0，2"，4"，6"，8"，12"。 ** 除環(huán)形吸附外，還可選微孔吸附式載物臺，以適用于厚度在50μm或以內(nèi)的晶圓。 | |
載物臺移動基座 | |
X-Y軸行程范圍* | 6"*6"(152.4mm*152.4mm)，可選更大行程 |
精度 | 1μm |
R軸粗調(diào)角度范圍 | 360° |
R軸細(xì)調(diào)角度范圍 | ±9° |
微調(diào)精度 | 0.0001°/deg |
Z軸細(xì)調(diào)行程范圍 | 13mm |
細(xì)調(diào)精度 | 1μm |
Z軸快升行程 | 0~6mm, 可調(diào) |
Z軸往復(fù)精度 | <1μm |
載物臺快速拖出行程 | 100mm |
*根據(jù)載物臺尺寸不同，行程有所不同，如載物臺為12"，則X-Y移動行程為12"*12"。 | |
