?反滲透（膜分離）技術的應用使超純水制備從傳統(tǒng)的陽離子交換器、脫碳、陰離子交換器、復合離子交換器、混合近年來開始在國外推廣應用的EDI（電去離子）技術，則是超純水制造技術的一次革命，從此進入了一個無需再生化學品，而能生產(chǎn)出高達18MΩ·CM的超純水，用于半導體、集成電路等行業(yè)。國家經(jīng)委也已將RO + EDI 成套技術的應用列入國家重點推廣范圍，對使用的企業(yè)給以政策上的優(yōu)惠.

1: 預處理－反滲透－純化水箱－離子交換器－紫外燈-純水泵－用水點
2: 預處理－一級反滲透－二級反滲透（正電荷反滲膜）－純化水箱－純水泵-紫外燈－用水點
3: 預處理－反滲透－中間水箱－中間水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵-紫外燈－用水點
4: 預處理→紫外線殺菌裝置→一級RO裝置→二級RO裝置→中間水箱→EDI裝置→脫氧裝置→氮封純水箱→除TOC UV裝置→拋光混床→超濾裝置→用水點
水質符合美國ASTM標準，電子部超純水水質標準（18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級）

反滲透是用足夠的壓力使溶液中的溶劑(一般常指水)通過反滲透膜(一種半透膜)而分離出來，方向與滲透方向相反，可使用大于滲透壓的反滲透法進行分離、提純和濃縮溶液。反滲透膜的主要分離對象是溶液中的離子范圍。
反滲透法分離過程有如下優(yōu)點：
?、俨恍杓訜帷]有相變；
　②能耗少；過程連續(xù)穩(wěn)定；
?、墼O備體積小、操作簡單，適應性強；
?、軐Νh(huán)境不產(chǎn)生污染。
　反滲透純水系統(tǒng)根據(jù)不同的源水水質采用不同的工藝。一般自來水經(jīng)一級反滲透系統(tǒng)處理后，產(chǎn)水電導率＜10-20μS/cm，經(jīng)二級反滲透系統(tǒng)后產(chǎn)水電導率＜5μS/cm甚至更低，在反滲透系統(tǒng)后輔以離子交換設備或EDI設備可以制備超純水，使電阻率高達18兆歐姆.厘米)。 反滲透膜老化或受污染后，產(chǎn)水質量會下降.