三甲基鎵是一種有機(jī)金屬化合物，主要用于：鎵外延片化學(xué)氣相沉積。即在一個(gè)材料表面通過氣相沉積工藝（MOCVD），生長一種特殊物質(zhì)（例如砷化鎵等）。三甲基鎵是生產(chǎn)LED外延片、制備GaAs，AsGaAl等半導(dǎo)體化合物的必備化學(xué)原料。