無塵室內的空調系統(tǒng)為供應適當溫濕度與潔凈度達到一定要求之新鮮空氣至無塵室，使其符合制程所需空氣處理系統(tǒng)，用于調節(jié)無塵室濕度和補償新風 無塵室空調系統(tǒng)由以下幾部分組成： 風管系統(tǒng) 1）以風管輸送潔凈空氣 2）循環(huán)空調箱兼處理外氣 FFU系統(tǒng) 1）天花空間為微負壓氣式 2）獨立設置外氣空調箱 輪軸風機系統(tǒng) 1）天花空間為正壓氣室 2）獨立設置外氣空調箱 系統(tǒng)主要設備： 1、無紡布板式過濾器:將外氣進行處理過濾掉較大的微粒 2、預熱盤管:在冬季，將相對溫濕度較低的外氣進行加熱，以便吸收更多的水分，以便加濕 3、加濕器：當外氣濕度過低，加熱器激活將外氣加濕至系統(tǒng)所設定的露點溫度 4、冷卻盤管：當外氣溫度過高，冷卻盤管將外氣冷卻至系統(tǒng)所設定的露點溫度 5、加熱盤管:將外氣加熱至系統(tǒng)所設定出口溫度 6、風車：由馬達帶動并以變頻器依系統(tǒng)設定送風壓力來自動控制電機風車轉速 7、袋式過濾器：過濾掉外氣中更小的微粒 8、HEPA濾網：將MAU處理過的外氣在送進無塵室之前做最后一次過濾，將空氣中更小的微粒過濾，以確保C/R的潔凈度 9、自動風門：根據系統(tǒng)所設定的無塵室壓差自動調節(jié)MAU出口風門開度