潔凈技術是一門綜合技術,其核心技術包括生產(chǎn)工藝技術及其工藝設計、空氣凈化、潔凈建筑以及各類產(chǎn)品生產(chǎn)所需的專業(yè)技術(如微電子產(chǎn)品生產(chǎn)所需的高純物質——— 高純水、高純氣、高純化學品的相關專業(yè)技術等)。這些專業(yè)技術在
風淋室設計中都是不可缺少的,它們必須密切配合,圍繞著產(chǎn)品生產(chǎn)的需要,相互協(xié)調(diào)、統(tǒng)籌安排。
潔凈廠房的設計和建造就是要在做好各相關專業(yè)設計的基礎上,做好各項安全設施——— 消防、防火、防爆、安全報警,確保風淋室的安全運行。與此同時,它還要處理好電源、冷源、熱源等動力供應,節(jié)約能源;安排好各類配管配線,確保各種流體介質的輸送質量,減少材料消耗,方便施工安裝和運行維護。
潔凈生產(chǎn)環(huán)境(潔凈廠房、風淋室)先后使用過“無塵車間www.qdjinghua.net”、“無窗廠房”、“密閉廠房”、“空氣懸浮粒子受控的房間”等概念。潔凈廠房的設計建造和使用應做到不引入或少引入微粒,不產(chǎn)生或少產(chǎn)生微粒,不滯留或少滯留微粒。此外,潔凈廠房還對溫度、濕度、壓力等參數(shù)按產(chǎn)品生產(chǎn)要求進行控制。
國家標準《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》(GB50472)共分15章和4個附錄。主要內(nèi)容有:總則、術語、電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設計要求、總體設計、工藝設計、風淋室建筑設計、空氣凈化和空調(diào)通風設計、給水排水設計、純水供應、氣體供應、化學品供應、電氣設計、防靜電與接地設計、噪聲控制以及微振控制等。
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