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壓力傳感器所用的元件材料是具有壓阻效應(yīng)的單晶硅、擴散摻雜硅和多晶硅。根據(jù)晶體不受定向應(yīng)力時,電導率是同性的,只有受定向應(yīng)力時才表現(xiàn)出各向異性,由于應(yīng)力能引起能帶的變化,能谷能量移動,導致電阻率的變化,于是就有電阻的變化,從而產(chǎn)生壓阻效應(yīng)。單晶硅效應(yīng)包括n型和p型硅壓阻效應(yīng)。選用擴散硅目的在于在設(shè)計 制造壓力傳感器時可根據(jù)不同溫度下硅擴散層的壓阻特性選擇合適的擴散條件,力求使壓力傳感器具有良好的性能。多晶硅在傳感器中有廣泛的用途,可作為微結(jié)構(gòu)和填充材料、敏感材料。
壓力傳感器按用途分類主要是壓力***、壓力測量和壓力控制及轉(zhuǎn)換成其他量的測量。按供電方式分為壓阻型和壓電型傳感器,前者是被動供電的。
實現(xiàn)規(guī)模經(jīng)濟生產(chǎn)后,可最大限度地降低生產(chǎn)成本,從而實現(xiàn)廉價傳感器的商品化。
業(yè)內(nèi)專家認為,除了規(guī)模生產(chǎn)外,傳感器生產(chǎn)格局還應(yīng)向?qū)I(yè)化發(fā)展,專業(yè)化生產(chǎn)的內(nèi)涵是:生產(chǎn)傳感器門類少而精;專門生產(chǎn)某一應(yīng)用領(lǐng)域需要的某一類傳感器系列產(chǎn)品以獲得較高的市場占有率;各傳感器企業(yè)的專業(yè)化合作生產(chǎn)(如材料、元件芯片、裝配;芯片、外殼與底座、組裝等的合作生產(chǎn)),從而有效地避免企業(yè)內(nèi)部的“大而全”,提高傳感器企業(yè)的經(jīng)濟效益。
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