硅片拋光機(jī):1本系列拋光機(jī)的吸附盤由四臺單獨(dú)的電機(jī)驅(qū)動、速度與壓力可調(diào)。2.控制系統(tǒng)中采用PLC彩色
終端等先進(jìn)技術(shù),系統(tǒng)的響應(yīng)速度更快、更精確,并具有遠(yuǎn)程監(jiān)控,遠(yuǎn)程維護(hù)的功能。
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