RTP快速退火爐的主要技術(shù)參數(shù)如下
加熱元件：鹵素電極； 電極數(shù)量：12支；
整機(jī)功率：7.2KW；
升溫速率：200℃/Second；
降溫速率：30秒(1000℃
→ 400℃)；
最高溫度：1100℃；
溫度精度：+/-
1℃；
最大樣品尺寸：4英寸；
氣氛環(huán)境：真空、氣體（氮?dú)?、氬氣、氧氣）、空氣?br />
真空系統(tǒng)：可根據(jù)實際需要選配無油機(jī)型泵或者分子泵
應(yīng)用領(lǐng)域：
-快速熱退火
-
快速熱氧化
- 快速熱氮化
- 硅化
- 擴(kuò)散
- 化合物半導(dǎo)體退火
- 離子注入后退火
- 電極合金化
-
晶向化和堅化
- 合金熔點分析;
- 薄膜沉積; 等等…
